Artikel ; Online: Selective isotropic etching of SiO
2023 Band 13, Heft 1, Seite(n) 11599
Abstract: In this study, an isotropic etching process of ... ...
Abstract | In this study, an isotropic etching process of SiO |
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Sprache | Englisch |
Erscheinungsdatum | 2023-07-18 |
Erscheinungsland | England |
Dokumenttyp | Journal Article |
ZDB-ID | 2615211-3 |
ISSN | 2045-2322 ; 2045-2322 |
ISSN (online) | 2045-2322 |
ISSN | 2045-2322 |
DOI | 10.1038/s41598-023-38359-4 |
Datenquelle | MEDical Literature Analysis and Retrieval System OnLINE |
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